Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
Treffer 1611 von 1732
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/974004235 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Lithography-free micro- and nanostructuring based conventional plasma etching / by Georgi Todorov Georgiev |
| Person(en) | Georgiev, Georgi Todorov (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2005] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 14,9 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Georgiev, Georgi Todorov: Lithography-free micro- and nanostructuring based on conventional plasma etching |
| Hochschulschrift | Kassel, Univ., Diss., 2004 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hebis:34-1873 |
| URL |
http://opus.uni-kassel.de/opus/htdocs/volltexte/2005/187/pdf/dis2790_18.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://opus.uni-kassel.de/opus/htdocs/volltexte/2005/187/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Plasmaätzen |
| DDC-Notation | 530.44 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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