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Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*



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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/982134924
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Strukturbildung und Prozessstabilisierung beim reaktiven Sputtern / vorgelegt von Daniel Severin
Person(en) Severin, Daniel (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,5 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Severin, Daniel: Strukturbildung und Prozessstabilisierung beim reaktiven Sputtern
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-16729
URL http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1672/pdf/Severin_Daniel.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1672/ (Verlag)
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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