Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/976612445 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology / Jochen Rinderknecht |
| Person(en) | Rinderknecht, Jochen (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 16,4 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rinderknecht, Jochen: Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology |
| Hochschulschrift | Dresden, Techn. Univ., Diss., 2005 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:14-1126002535643-34479 |
| URL |
http://hsss.slub-dresden.de/pub2/dissertation/2005/maschinenwesen/1126002535643-3447/1126002535643-3447.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://hsss.slub-dresden.de/hsss/servlet/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=1126002535643-3447 (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | CMOS ; Dünne Schicht ; Mikroprozessor ; Schichtdicke ; Silicide |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 546.6832 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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