Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Titel Dielectric properties of AlN film on Si substrate / by Z. X. Bi, Y. D. Zheng, R. Zhang, S. L. Gu, X. Q. Xiu, L. L. Zhou, B. Shen, D. J. Chen, Y. Shi
Person(en) Bi, Z. X. (Verfasser)
Zheng, Y. D. (Verfasser)
Zhang, R. (Verfasser)
Gu, S. L. (Verfasser)
Xiu, X. Q. (Verfasser)
Zhou, L. L. (Verfasser)
Shen, B. (Verfasser)
Chen, D. J. (Verfasser)
Shi, Y. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource, 1 online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023093009145961237363
DOI: 10.1023/B:JMSE.0000024233.82681.dc
URL https://doi.org/10.1023/B:JMSE.0000024233.82681.dc
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Journal of materials science / Materials in electronics (Bd. 15, Nr. 5, date:5.2004: 317-320)
Schlagwörter Film* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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