Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981021506 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen / vorgelegt von Christian Lohmann |
Person(en) | Lohmann, Christian (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | X, 168 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Lohmann, Christian: Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen |
Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch) |
Schlagwörter | MEMS ; Sensortechnik |
DDC-Notation | 621 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Frankfurt |
Signatur: 2006 A 67031 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2006 A 80807 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
