Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/990978699 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung : Auswirkungen einer inhomogenen Plasmaverteilung auf die Schichteigenschaften bei dynamischer und statischer Beschichtung mittels gepulstem Dual-Magnetron / vorgelegt von: Ronny Kleinhempel |
| Person(en) | Kleinhempel, Ronny (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | 117, VIII S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kleinhempel, Ronny: Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Transparent-leitendes Oxid |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 80804 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 A 33014 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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