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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung / Michael Krause. Betreuer: Ralf B. Wehrspohn ; Michael Hanke ; Hartmut S. Leipner
Person(en) Krause, Michael (Verfasser)
Wehrspohn, Ralf B. (Akademischer Betreuer)
Hanke, Michael (Akademischer Betreuer)
Leipner, Hartmut S. (Akademischer Betreuer)
Verlag Halle, Saale : Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Halle (Saale), Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, Diss., 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:3:4-12037
URL http://digital.bibliothek.uni-halle.de/urn/urn:nbn:de:gbv:3:4-12037 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Siliciumhalbleiter ; Nanostruktur ; Kristallgitter ; Verzerrung ; Ionenstrahlätzen ; Elektronenrückstreubeugung
DDC-Notation 537.6226 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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