Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: auRef=1261355091
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1232767131 |
| Titel | Self‐Replication of Deeply Buried Doped Silicon Structures, which Remotely Control the Etching Process: A New Method for Forming a Silicon Pattern from the Bottom Up |
| Person(en) |
Schutzeichel, Christopher (Verfasser) Kiriy, Nataliya (Verfasser) Kiriy, Anton (Verfasser) Voit, Brigitte (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021050415205123476749 DOI: 10.1002/adfm.202100105 |
| URL | https://doi.org/10.1002/adfm.202100105 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 04.05.2021 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced functional materials (04.05.2021. 7 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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