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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) routes for fabrication of rare earth nitride thin films : precursor evaluation, thin film deposition and characterization / Michael Krasnopolski ; Gutachter: Roland A. Fischer, Anjana Devi ; Fakultät für Chemie und Biochemie
Person(en) Krasnopolski, Michael (Verfasser)
Fischer, Roland A. (Gutachter)
Devi, Anjana (Gutachter)
Organisation(en) Fakultät für Chemie und Biochemie (Sonstige)
Verlag Bochum : Ruhr-Universität Bochum
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2014
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:294-41427
URL https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/3962 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Nitride ; Dampfabscheidung ; MOCVD-Verfahren ; Präkursor ; Lanthanoide
Erde* ; Thin films* ; Evaluation* ; Chemical vapor deposition* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 671.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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