Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1231542314 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) routes for fabrication of rare earth nitride thin films : precursor evaluation, thin film deposition and characterization / Michael Krasnopolski ; Gutachter: Roland A. Fischer, Anjana Devi ; Fakultät für Chemie und Biochemie |
Person(en) |
Krasnopolski, Michael (Verfasser) Fischer, Roland A. (Gutachter) Devi, Anjana (Gutachter) |
Organisation(en) | Fakultät für Chemie und Biochemie (Sonstige) |
Verlag | Bochum : Ruhr-Universität Bochum |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Hochschulschrift | Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2014 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:294-41427 |
URL | https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/3962 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter |
Nitride ; Dampfabscheidung ; MOCVD-Verfahren ; Präkursor ; Lanthanoide Erde* ; Thin films* ; Evaluation* ; Chemical vapor deposition* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 671.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
