Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/983848483 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen / von Stephan Will |
| Person(en) | Will, Stephan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2004] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 1,7 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Will, Stephan: Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen |
| Hochschulschrift | Marburg, Univ., Diss., 1997 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hebis:04-z1998-00012 |
| URL |
http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z1998/0001/pdf/z1998-0001.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z1998/0001/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Silicium ; Amorpher Halbleiter ; Wasserstoff ; Dünne Schicht ; PECVD-Verfahren |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

