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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie) / vorgelegt von Kai Petter
Person(en) Petter, Kai (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format II, 110 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie)
Hochschulschrift Marburg, Univ., Diss., 2006
Schlagwörter Silicium ; Epitaxieschicht ; Halbleiter / Gitterbaufehler
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 621.31244 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2006 B 14039
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 B 12186
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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