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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis / Timo Mappes ; Sven Achenbach ; Jürgen Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe
Person(en) Mappes, Timo (Verfasser)
Achenbach, Sven (Verfasser)
Mohr, Jürgen (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : FZKA
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format IV, 72 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Mappes, Timo: Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis
Hochschulschrift Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. T. Mappes, 2006
ISBN/Einband/Preis kart.
Identifikationsnummern Reportnummer: FZKA 7215
DDC-Notation 621 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2006 B 15902
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: 2006 B 15353
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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