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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1264849141
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Organic peracid etches : a new class of chromium-free etching solutions for the delineation of defects in thin silicon films / by Daniel Georg Possner
Person(en) Possner, Daniel Georg (Verfasser)
Verlag Leipzig ; Frankfurt am Main : Deutsche Nationalbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Original: 2009
Umfang/Format 1 Online-Ressource (1 CD-RW)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung von: Possner, Daniel Georg: Organic peracid etches
Hochschulschrift Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022090913224353028613
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Titel auf der Beil.
Schlagwörter Kristallstruktur ; Silicium ; Oberflächenchemie
DDC-Notation 548.81 [DDC22ger]; 546.68353 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

Frankfurt Exemplar nur eingeschränkt nutzbar
Leipzig Exemplar nur eingeschränkt nutzbar




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