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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung einer leistungsfähigen Detektions-Elektronik für die Multispitzen-Rastersondenmikroskopie zur Fehleranalyse an integrierten Schaltungen / Richard Spiegelberg ; Bert Voigtländer, Rainer Waser, Markus Morgenstern
Person(en) Spiegelberg, Richard (Verfasser)
Voigtländer, Bert (Akademischer Betreuer)
Waser, Rainer (Akademischer Betreuer)
Morgenstern, Markus (Akademischer Betreuer)
Verlag Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, RWTH Aachen, 2015
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2016-011230
URL http://publications.rwth-aachen.de/record/568175 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Rastersondenmikroskopie* ; Detektion* ; Elektronik* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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