Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/989724859 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen / vorgelegt von: Knut Schulze |
| Person(en) | Schulze, Knut (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 37,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schulze, Knut: Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200800661 |
| URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0066/data/dissertation_schulze.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0066 (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Finite-Elemente-Methode ; Flusssäure ; Halbleitertechnologie ; Low-k-Dielektrikum ; Opferschicht ; Spacer ; Technologie ; Verdrahtung |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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