Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/991642031 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Design, analysis and fabrication of micro optical systems involving UV-deep lithography : with an application in atomic physics / vorgelegt von Xiyuan Liu |
| Person(en) | Liu, Xiyuan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 7,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Liu, Xiyuan: Design, analysis and fabrication of micro optical systems involving UV-deep lithography |
| Hochschulschrift | Mannheim, Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:180-madoc-21393 |
| URL |
http://madoc.bib.uni-mannheim.de/madoc/volltexte/2008/2139/pdf/liu_xiyuan_dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://madoc.bib.uni-mannheim.de/madoc/volltexte/2008/2139/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Photolithographie ; Mikrooptik ; Optikmodellierung ; Atomphysik |
| DDC-Notation | 621.369 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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