Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/988117428 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Development of molecular glasses for solvent-free photolithography utilizing combinatorial vapor deposition / vorgelegt von Frauke Pfeiffer |
| Person(en) | Pfeiffer, Frauke (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2008] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 1,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Pfeiffer, Frauke: Development of molecular glasses for solvent-free photolithography utilizing combinatorial vapor deposition |
| Hochschulschrift | Bayreuth, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:703-opus-3899 |
| URL |
http://opus.ub.uni-bayreuth.de/volltexte/2008/389/pdf/diss_pfeiffer.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://opus.ub.uni-bayreuth.de/volltexte/2008/389/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Photoresist ; Photolithographie ; PVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Organisches Glas |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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