Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag, 17. Juni 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek ist wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums in Leipzig sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 in Frankfurt sind geschlossen. // Tuesday, 17 June 2025: The German National Library will be closed at both locations due to a staff meeting. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing in Leipzig will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933-1945 in Frankfurt will be closed.
 
 

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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2017, Löwen
Titel ICPT 2017 : International Conference on Planarization/CMP Technology : October, 11-13, 2017, Leuven, Belgium / conference chairs: Patrick Ong, IMEC, Leuven, Belgium, Gerfried Zwicker, Fraunhofer Institute for Silicon Technology ISIT, Itzehoe, Germany
Person(en) Ong, Patrick (Herausgeber)
Organisation(en) ICPT (Veranstaltung : 2017 : Löwen) (Verfasser)
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Herausgebendes Organ)
VDE Verlag (Verlag)
Verlag Berlin : VDE VERLAG GMBH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2017]
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-4462-6 : EUR 197.00 (DE), EUR 202.60 (AT)
3-8007-4462-7
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Chemisch-mechanisches Polieren
DDC-Notation 671.72 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Zugehörige Bände 2 Publikationen
  1. ICPT 2017 / [Band]
    [2017]
  2. ICPT 2017 / [CD-ROM]
    [2017]





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