Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=041760743
Treffer 182 von 292
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1008941794 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke / Florentina Niebelschütz. Gutachter: Matthias Hein ; Donat Josef As. Betreuer: Oliver Ambacher |
| Person(en) |
Niebelschütz, Florentina (Verfasser) Ambacher, Oliver (Akademischer Betreuer) Hein, Matthias (Akademischer Betreuer) As, Donat Josef (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Ilmenau : Universitätsbibliothek Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2010000209 |
| URL | http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16475 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MEMS ; Resonator ; Galliumnitrid ; Heterostruktur ; Halbleitersubstrat ; Siliciumcarbid ; Ätzen ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 182 von 292
Administration
