Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Verspannungsgetriebene Architekturen auf der Basis von Si-Nanomembranen / Francesca Cavallo
Person(en) Cavallo, Francesca (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource (PDF)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Cavallo, Francesca: Verspannungsgetriebene Architekturen auf der Basis von Si-Nanomembranen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-201000235
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0023 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Molekularstrahlepitaxie ; Oxidation ; Ätzen ; Halbleiter ; Halbleiterbauelement ; Halbleiterelektronik
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik

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