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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1019631791
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren / Wolfgang Reinert
Person(en) Reinert, Wolfgang (Verfasser)
Verlag Kiel : Universitätsbibliothek Kiel
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reinert, Wolfgang: Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren
Hochschulschrift Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:8-diss-20470
URL http://eldiss.uni-kiel.de/macau/receive/dissertation_diss_00002047 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Technische Chemie ; Halbleiter ; Halbleiterbauelement ; Halbleiterelektronik
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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