Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/995625891 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme / von Philipp Schmid |
Person(en) | Schmid, Philipp (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,0 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schmid, Philipp: Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme |
Hochschulschrift | Ulm, Univ., Diss., 2007 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:289-vts-58417 |
URL | http://vts.uni-ulm.de/docs/2007/5841/vts_5841_7789.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | MEMS ; Mikromechanik ; Aktorik ; Diamant ; FEM <Mathematik> ; Modellierung ; Simulation |
DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
