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Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*



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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/995625891
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme / von Philipp Schmid
Person(en) Schmid, Philipp (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,0 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schmid, Philipp: Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme
Hochschulschrift Ulm, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:289-vts-58417
URL http://vts.uni-ulm.de/docs/2007/5841/vts_5841_7789.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS ; Mikromechanik ; Aktorik ; Diamant ; FEM <Mathematik> ; Modellierung ; Simulation
DDC-Notation 621.3815 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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