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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1278244727
Titel A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays
Person(en) Akhundzada, Sapida (Verfasser)
Yang, Xiaohui (Verfasser)
Fiedler, Johannes (Verfasser)
Käkel, Eireen (Verfasser)
Al-Qargholi, Basim (Verfasser)
Buhmann, Stefan Yoshi (Verfasser)
Ehresmann, Arno (Verfasser)
Hillmer, Hartmut (Verfasser)
Organisation(en) Quantum Optics and Statistics (Mitwirkender)
Verlag Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format Online-Ressource (zip)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-2326948
DOI: 10.1007/s00542-022-05361-1
URL https://freidok.uni-freiburg.de/data/232694 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Microsystem technologies. - 28, 9 (2022) , 2139-2148, ISSN: 1432-1858
DDC-Notation 530.411 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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