Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "12212183X"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/102829462X |
| Titel | Mechanical Microsensors |
| Person(en) |
Elwenspoek, Miko (Verfasser) Wiegerink, Remco J. (Verfasser) |
| Verlag | Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Elwenspoek, Miko: Mechanical microsensors |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-20121128627 DOI: 10.1007/978-3-662-04321-9 |
| URL | https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-04321-9 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-662-04321-9 |
| EAN | 9783662043219 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Mikrosensor ; Siliciumsensor ; Mikromechanik ; Halbleitertechnologie |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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