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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Diffraction-based metrology in the extreme ultraviolet / Frederik Tuitje ; Gutachter: Christian Spielmann, Birgit Kanngießer, Hamed Merdji
Person(en) Tuitje, Frederik (Verfasser)
Spielmann, Christian (Gutachter)
Kanngießer, Birgit (Gutachter)
Merdji, Hamed (Gutachter)
Verlag Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2020
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20201117-104509-008
DOI: 10.22032/dbt.46898
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00046898 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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