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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2018, Dortmund
Titel Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund / Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Ruhr-Universität Bochum
Organisation(en) GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (7. : 2018 : Dortmund) (Verfasser)
Verlag Berlin ; Offenbach : VDE Verlag GmbH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2018]
Umfang/Format 1 CD-ROM + 1 Blatt (2 ungezählte Seiten)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung 7.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (7. : 2018 : Dortmund): Mikro-Nano-Integration
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-4789-4
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 92
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie
DDC-Notation 621 [DDC23ger]; 620.5 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Frankfurt Signatur: 2018 CRA 5868
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2019 DT 185
Bereitstellung in Leipzig




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