Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/124111725X |
| Titel | Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections / Markus Schwarz |
| Person(en) | Schwarz, Markus (Verfasser) |
| Verlag | Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2021 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:bsz:291--ds-342169 DOI: 10.22028/D291-34216 |
| URL | https://publikationen.sulb.uni-saarland.de/handle/20.500.11880/31735 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
MEMS ; SOI-Technik ; Mikroschalter SOI-Technik* ; Schalter* ; Array* ; Wafer* ; Mikroschaltung* ; MEMS* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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