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Titel Optimizing Ultrathin 2D Transistors for Monolithic 3D Integration: A Study on Directly Grown Nanocrystalline Interconnects and Buried Contacts
Person(en) Bae, Junseong (Verfasser)
Ryu, Hyeyoon (Verfasser)
Kim, Dohee (Verfasser)
Lee, Chang‐Seok (Verfasser)
Seol, Minsu (Verfasser)
Byun, Kyung‐Eun (Verfasser)
Kim, Sangwon (Verfasser)
Lee, Seunghyun (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2404221435483.024587272321
DOI: 10.1002/adma.202314164
URL https://doi.org/10.1002/adma.202314164
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 22.04.2024
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced materials (22.04.2024. 8 S.)

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