Neural network-based analysis algorithm on Mueller matrix data of spectroscopic ellipsometry for the structure evaluation of nanogratings with various optical constants

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/135684510X
Titel	Neural network-based analysis algorithm on Mueller matrix data of spectroscopic ellipsometry for the structure evaluation of nanogratings with various optical constants
Person(en)	Jung, Juwon (Verfasser) Kim, Nagyeong (Verfasser) Kim, Kibaek (Verfasser) Park, Jongkyoon (Verfasser) Cho, Yong Jai (Verfasser) Chegal, Won (Verfasser) Kim, Young-Joo (Verfasser)
Umfang/Format	Online-Ressource
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2502191214459.223618053848 DOI: 10.1515/nanoph-2024-0565
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 12.02.2025
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Nanophotonics (Bd. 14, 2025, Nr. 4: 471-484. 14 S.)

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