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Titel 3D direct laser writing of highly absorptive photoresist for miniature optical apertures / Michael D. Schmid, Andrea Toulouse, Simon Thiele, Simon Mangold, Alois M. Herkommer, Harald Giessen
Person(en) Schmid, Michael D. (Verfasser)
Toulouse, Andrea (Verfasser)
Thiele, Simon (Verfasser)
Mangold, Simon (Verfasser)
Herkommer, Alois (Verfasser)
Giessen, Harald (Verfasser)
Verlag Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-137441
DOI: 10.18419/opus-13725
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Advanced functional materials 33 (2023), No. 2211159
DDC-Notation 621.366 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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