Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042731534
Treffer 21 von 24
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1190523701 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Grundlagenentwicklung unterschiedlicher MOS-Technologien auf Siliciumcarbid (SiC) / Sigo Scharnholz |
| Person(en) | Scharnholz, Sigo (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 132 Seiten : 48 Abb. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Scharnholz, Sigo: Grundlagenentwicklung unterschiedlicher MOS-Technologien auf Siliciumcarbid (SiC) |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2019071406294387316782 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8265-8876-1 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | Wide-bandgap Halbleiter ; Siliciumcarbid ; MOS-FET ; Ionenimplantation ; Gate-Oxid ; PECVD-Verfahren |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 21 von 24
Administration
