Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1275750478 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2022, Aachen |
| Titel | Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 9. GMM-Workshops 21.-22.11.2022 in Aachen / Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum |
| Person(en) | Hoffmann, Martin (Herausgeber) |
| Organisation(en) |
GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen) (Verfasser) VDE Verlag (Verlag) VDE/VDI GMM (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Berlin ; Offenbach : VDE VERLAG GMBH |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2022] |
| Umfang/Format | 1 CD-ROM ; 58 g + 1 Begleitmaterial (2 ungezählte Seiten) |
| Andere Ausgabe(n) | Digitale Übertragung 9.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen): Mikro-Nano-Integration |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8007-5990-3 : EUR 82.00 (DE), EUR 82.00 (AT) 3-8007-5990-X |
| EAN | 9783800759903 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97 |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie |
| DDC-Notation | 621 [DDC23ger]; 620.5 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Frankfurt |
Signatur: 2023 DT 658
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2023 DT 375
Bereitstellung in Leipzig |
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