Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98145772X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films / Stanislav Mráz |
| Person(en) | Mráz, Stanislav (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | XIV, 80 S. : graph. Darst. ; 21 cm, 143 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Mráz, Stanislav: Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-5522-0 kart. : EUR 39.80 (DE), EUR 39.80 (AT), sfr 79.60 3-8322-5522-2 kart. : EUR 39.80 (DE), EUR 39.80 (AT), sfr 79.60 |
| EAN | 9783832255220 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Materials chemistry dissertation ; No. 07 |
| Schlagwörter |
Übergangsmetalloxide ; Dünne Schicht ; Magnetronsputtern ; Sauerstoff ; Partialdruck Oxidschicht ; Sputtern ; Plasmachemie |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2006 A 82583 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 104538 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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