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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen der Kontaminationsaspekte von Barium, Strontium, Bismut, Iridium und Platin auf Si(100)-Oberflächen : (im Hinblick auf die Integration ferroelektrischer Schichten in der Speichertechnologie) / von Gernod Kilian
Person(en) Kilian, Gernod (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format 1 CD-R ; 12 cm + Beil. ([1] Bl.)
Hochschulschrift Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2002
Anmerkungen Titel auf der Beil.
Schlagwörter Siliciumbauelement ; Halbleiteroberfläche ; Kontamination ; Übergangsmetall ; Diffusion ; Rapid thermal processing
Halbleiterspeicher ; Ferroelektrikum ; Perowskitstruktur ; Dünne Schicht ; Verunreinigung ; Halbleiteroberfläche
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 30 Chemie ; 29 Physik, Astronomie

Frankfurt Signatur: H 2002 CR 372
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 2002 CR 372
Bereitstellung in Leipzig




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