Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985668199 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Evaluierung hochauflösender, nicht polymerer Elektronenstrahllacke auf Calixaren-Basis / vorgelegt von Holger Sailer |
| Person(en) | Sailer, Holger (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Sailer, Holger: Evaluierung hochauflösender, nicht polymerer Elektronenstrahllacke auf Calixaren-Basis |
| Hochschulschrift | Tübingen, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:21-opus-30079 |
| URL |
http://tobias-lib.ub.uni-tuebingen.de/volltexte/2007/3007/pdf/Diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://tobias-lib.ub.uni-tuebingen.de/volltexte/2007/3007/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Photoresist |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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