Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/983269858 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing = Mechanische Oberflächen-Nanostrukturierung von Indiumphosphid und Silizium für anschließende elektrochemische Prozesse / vorgelegt von Rémy Gassilloud |
| Person(en) | Gassilloud, Rémy (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2007] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 11,0 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gassilloud, Rémy: Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-5256 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2007/525/pdf/remygassillouddissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2007/525/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Silicium ; Indiumphosphid ; Elektrolytisches Ätzen ; Nano-ritzen ; Selektivität |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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