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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Analyse dünner Schichten mit der optischen Glimmentladungsspektroskopie / Denis Klemm. Gutachter: Klaus Wetzig ; Jürgen Eckert ; Carla Vogt. Betreuer: Klaus Wetzig
Person(en) Klemm, Denis (Verfasser)
Wetzig, Klaus (Akademischer Betreuer)
Eckert, Jürgen (Akademischer Betreuer)
Vogt, Carla (Akademischer Betreuer)
Verlag Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Klemm, Denis: Analyse dünner Schichten mit der optischen Glimmentladungsspektroskopie
Hochschulschrift Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-23780
URL http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-23780 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Glimmentladungsspektroskopie* ; Glimmentladung* ; Emissionslinie* ; Analyse* ; Elektronenstrahlmikroanalyse* ; Sekundärionen-Massenspektrometrie* ; Nanometerbereich* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 620.110287 [DDC22ger]; 535.84 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik

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