Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

Ergebnis der Suche nach: swiRef=041760743

Zurück zur Trefferliste


Treffer 214 von 327 < < > <



Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1008941794
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke / Florentina Niebelschütz. Gutachter: Matthias Hein ; Donat Josef As. Betreuer: Oliver Ambacher
Person(en) Niebelschütz, Florentina (Verfasser)
Ambacher, Oliver (Akademischer Betreuer)
Hein, Matthias (Akademischer Betreuer)
As, Donat Josef (Akademischer Betreuer)
Verlag Ilmenau : Universitätsbibliothek Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2010000209
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16475 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS ; Resonator ; Galliumnitrid ; Heterostruktur ; Halbleitersubstrat ; Siliciumcarbid ; Ätzen ; Prozessoptimierung
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 214 von 327
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration