Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1022317989 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung eines MEMS Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS Integration / Qiang Wang. Gutachter: Roland Schmechel. Betreuer: Holger Vogt |
| Person(en) |
Wang, Qiang (Verfasser) Vogt, Holger (Akademischer Betreuer) Schmechel, Roland (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Duisburg ; Essen : Universitätsbibliothek Duisburg-Essen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wang, Qiang: Entwicklung eines MEMS Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS Integration |
| Hochschulschrift | Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:464-20120503-094654-8 |
| URL | http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DocumentServlet?id=28311 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger]; 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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