Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/986376264 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer / vorgelegt von: Sven Zimmermann |
| Person(en) | Zimmermann, Sven (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 22,1 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Zimmermann, Sven: Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit struktuierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200701689 |
| URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2007/0168/data/Dissertation_Zimmermann.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2007/0168 (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | PVD-Verfahren ; SOI-Technik |
| DDC-Notation | 621.381520284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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