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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1358396787 |
| Titel | Epitaxial aluminum scandium nitride on molybdenum electrodes for bulk acoustic wave resonators |
| Person(en) |
Sundarapandian, Balasubramanian (Verfasser) Ambacher, Oliver (Akademischer Betreuer) Fiederle, Michael |
| Organisation(en) |
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (Mitwirkender) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Grad-verleihende Institution) |
| Verlag | Freiburg : Universität |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Freiburg, 2025 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-2630978 DOI: 10.6094/UNIFR/263097 |
| URL | https://freidok.uni-freiburg.de/data/263097 (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter |
Aluminiumnitrid ; BAW-Bauelement ; Molybdän Aluminiumnitrid* ; Elektrode* ; MOCVD-Verfahren* ; Epitaxieschicht* ; Nitride* ; Dünne Schicht* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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