Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/977570746 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology / Jochen Rinderknecht |
| Person(en) | Rinderknecht, Jochen (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | 192 S. in getr. Zählung : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Rinderknecht, Jochen: Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology |
| Hochschulschrift | Dresden, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | CMOS ; Dünne Schicht ; Mikroprozessor ; Schichtdicke ; Silicide |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 546.6832 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2005 B 36615 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2005 B 36636 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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