Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984995692 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase / Felix Petri |
Person(en) | Petri, Felix (Verfasser) |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
Umfang/Format | 122 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 209 gr. |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Petri, Felix: Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase |
Hochschulschrift | Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2006 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-6354-6 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 3-8322-6354-3 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 |
EAN | 9783832263546 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Berichte aus der Mikromechanik |
Schlagwörter |
Drehratensensor ; Vakuumsensor ; MEMS ; Quetschströmung ; Mathematisches Modell Heißdrahtverfahren ; Sensor ; MEMS ; Vakuum ; Wärmeübertragung ; Mathematisches Modell |
DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Frankfurt |
Signatur: 2007 A 48919 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2007 A 75573 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
