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Titel Modification Pathways for Copoly (2‐oxazoline) s Enabling Their Application as Antireflective Coatings in Photolithography
Person(en) Fimberger, Martin (Verfasser)
Behrendt, Andreas (Verfasser)
Jakopic, Georg (Verfasser)
Stelzer, Franz (Verfasser)
Kumbaraci, Volkan (Verfasser)
Wiesbrock, Frank (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022111206364933830816
DOI: 10.1002/marc.201500589
URL https://doi.org/10.1002/marc.201500589
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 30.11.2015
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Macromolecular rapid communications (Bd. 37, 2016, Nr. 3: 233-238. 6 S.)

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