Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98056803X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ionenunterstützte Antimon-Dotierung für die Silizium-Molekularstrahlepitaxie von Bauelementstrukturen / vorgelegt von Georg Eifler |
| Person(en) | Eifler, Georg (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2006] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 5,2 MB |
| Hochschulschrift | Stuttgart, Univ., Diss., 2005 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-26229 |
| URL |
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2006/2622/pdf/Diss_GE.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2006/2622/ (Verlag) |
| Schlagwörter | Antimon ; Molekularstrahlepitaxie ; Ionendichte ; Ionensonde ; Ionenstrahl ; Ionenquelle ; Ionenfokussierung ; Elektronenstrahlverdampfen |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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