Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Investigation of the Need for Alternative Cleaning Chemistries for 30Å Gate Oxides / by Amr Bayoumi, Alice Fischer-Colbrie, Russ Parker, Mike Cox, Wayne Greene
Person(en) Bayoumi, Amr (Verfasser)
Fischer-Colbrie, Alice (Verfasser)
Parker, Russ (Verfasser)
Cox, Mike (Verfasser)
Greene, Wayne (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021032900113129679812
DOI: 10.1557/PROC-477-247
URL https://doi.org/10.1557/PROC-477-247
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1997
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 477, 10.2.2011, Nr. 1, date:12.1997: 247-252)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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