Metrology lasers for traceable length metrology in nanopositioning machines – towards a 10−¹² uncertainty level in vacuum wavelength

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1374682810
Titel	Metrology lasers for traceable length metrology in nanopositioning machines – towards a 10−¹² uncertainty level in vacuum wavelength / Ulrike Blumröder, Paul Köchert, Thomas Fröhlich, Ingo Ortlepp, Thomas Kissinger, Eberhard Manske
Person(en)	Blumröder, Ulrike (Verfasser) Köchert, Paul (Verfasser) Fröhlich, Thomas (Verfasser) Ortlepp, Ingo (Verfasser) Kissinger, Thomas (Verfasser) Manske, Eberhard (Verfasser)
Verlag	Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format	Online-Ressource, 12 Seiten (pdf)
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2508250324065.163605920222 DOI: 10.1016/j.measurement.2025.118512
URL	https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00067148 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Anmerkungen	In: Measurement(257, Part A) - ISSN 1873-412X In: Elsevier, Amsterdam
DDC-Notation	535.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n)	530 Physik

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