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Bücher
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Titel Ionenimplantation : Beiträge zur Schlüsseltechnologie Mikroelektronik ; zur Theorie von Halbleitermikrostrukturen
Verlag Berlin : Red. Wiss. Publ. d. Humboldt-Univ.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1988
Umfang/Format S. 351 - 465 : graph. Darst. ; 24 cm
ISBN/Einband/Preis 978-3-376-00172-7 kart. : M 5.00
3-376-00172-3 kart. : M 5.00
Sprache(n) Russisch (rus)
Beziehungen Humboldt-Universität zu Berlin: Wissenschaftliche Zeitschrift der Humboldt-Universität zu Berlin / Reihe Mathematik, Naturwissenschaften ; Jg. 37, H. 4
Anmerkungen Literaturangaben
Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 89/30160
Bereitstellung in Frankfurt




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