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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen / Michael Jank
Person(en) Jank, Michael (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, 172 Seiten : 87 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Jank, Michael: Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen
Hochschulschrift Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2018090906000231677666
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-6159-7
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2007/1
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter MOS-FET ; CMOS ; Maskentechnik ; Halbleitersubstrat ; Ionenimplantation ; Prozessoptimierung
DDC-Notation 621.3815284 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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