Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien / vorgelegt von Pedro Javier Rodríguez Cantó
Person(en) Rodríguez Cantó, Pedro Javier (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 2,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rodríguez Cantó, Pedro Javier: Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-4790
URL http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/pdf/Diss_Rodriguez.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/index.html (Verlag)
Schlagwörter Photoresist ; Tiefes Ultraviolett ; Diffusion ; Säure ; Belichtung ; Inhibitor ; Modellierung ; Simulation ; Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Chemische Reaktion
DDC-Notation 547.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

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